1
打破技術(shù)壟斷，“自主芯”目標(biāo)更進(jìn)一步
在芯片制造所需的眾多半導(dǎo)體材料中，制備難度最高、最為關(guān)鍵的當(dāng)屬高端光刻膠了，其包括EUV光刻膠、KrF光刻膠、ArF光刻膠等幾種。雖然我國(guó)在低端光刻膠領(lǐng)域有不錯(cuò)的表現(xiàn)，但在高端領(lǐng)域自給率嚴(yán)重不足，其中，截至2019年國(guó)內(nèi)ArF光刻膠則完全依賴進(jìn)口。
由于技術(shù)壁壘和客戶壁壘高，全球高端光刻膠市場(chǎng)早已長(zhǎng)期被日本、美國(guó)等企業(yè)壟斷，而近年來中美貿(mào)易問題帶來的經(jīng)濟(jì)制裁，導(dǎo)致我國(guó)許多高新技術(shù)企業(yè)在芯片制造領(lǐng)域一下就被“卡了脖子”，造出“自主芯”成為破局之路。
“ArF光刻膠產(chǎn)品開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”是寧波南大光電承接國(guó)家“02專項(xiàng)”的一個(gè)重點(diǎn)攻關(guān)項(xiàng)目，于2017年開始研發(fā)，至今已近四年。此次，南大光電突破投產(chǎn)的為193nm的ArF光刻膠，可作為當(dāng)前AI芯片、5G芯片、大容量存儲(chǔ)器和云計(jì)算芯片等最為核心的原材料，被喻為半導(dǎo)體工業(yè)的“血液”。
本次產(chǎn)品認(rèn)證的通過意味著長(zhǎng)期被國(guó)外壟斷的ArF光刻膠終于邁出了國(guó)產(chǎn)化的第一步，不僅具備經(jīng)濟(jì)價(jià)值，更具備了保障產(chǎn)業(yè)鏈安全的戰(zhàn)略價(jià)值，我國(guó)距離擁有“自主芯”的目標(biāo)又近了一步!
2
重磅政策利好，國(guó)產(chǎn)光刻膠未來可期
事實(shí)上，近年來，我國(guó)出臺(tái)了多項(xiàng)相關(guān)政策，為光刻膠產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供了良好的政策支持。另一方面，國(guó)家集成電路大基金二期布局規(guī)劃也明確表示支持包括光刻膠在內(nèi)的國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)鏈。在國(guó)家政策及大基金的支持下，不僅是南大光電，眾多國(guó)內(nèi)光刻膠企業(yè)相繼開啟，國(guó)產(chǎn)光刻膠研發(fā)和量產(chǎn)或?qū)⑻崴佟?/p>
但需要看到的是，雖然目前國(guó)產(chǎn)光刻膠取得技術(shù)突破，但其關(guān)鍵原材料——如用于前道制程的酚醛樹脂，以及很多中間體材料，仍然受到日美競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的遏制;同時(shí)，決定光刻性能的諸多關(guān)鍵數(shù)據(jù)也只能靠自身不斷摸索與積累，這是近乎于從無到有的挑戰(zhàn)。
當(dāng)然，我們需要給這個(gè)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展多一點(diǎn)耐心和信心，相信隨著產(chǎn)業(yè)鏈、創(chuàng)新鏈、金融鏈的融合，中國(guó)的強(qiáng)核之路也一定會(huì)走得更遠(yuǎn)。
標(biāo)簽： 半導(dǎo)體材料
