光刻機(jī)是芯片制造的核心環(huán)節(jié)，之所以被譽(yù)為工業(yè)皇冠上的明珠，不僅是由于它的單價(jià)高達(dá)上億美元，更是由于它的構(gòu)成極為精密和復(fù)雜。曾有人比喻過(guò)光刻機(jī)的光刻原理，就相當(dāng)于兩架同時(shí)高速飛行的飛機(jī)，其中一架在另一架上按照設(shè)計(jì)好的線圖進(jìn)行刻畫。
以目前最先進(jìn)的EUV光刻機(jī)來(lái)說(shuō)，其核心元器件不下10萬(wàn)個(gè)，雖然只有荷蘭的ASML能夠生產(chǎn)，可有約90%左右的技術(shù)零件都是來(lái)自其他國(guó)家。比如德國(guó)的蔡司光源，日美的光刻膠等等。
在華為等國(guó)產(chǎn)企業(yè)被老美斷供芯片之時(shí)，我們就決定自己造芯，首先的難點(diǎn)就是EUV光刻機(jī)。
雖然ASML曾放出大話表示，即便給我們圖紙，我們也造不出來(lái)。但是要知道，哪怕是再尖端的技術(shù)設(shè)備，都是人造的，而非神造的。我們自然也不會(huì)因?yàn)镋UV光刻技術(shù)的研發(fā)難度而不戰(zhàn)自退。
若想完成這個(gè)龐然大物的研發(fā)，首先就要從它最核心的技術(shù)和材料入手。
自中科院等國(guó)內(nèi)頂尖科研機(jī)構(gòu)宣布入局光刻研發(fā)任務(wù)中后，我國(guó)在光刻技術(shù)領(lǐng)域有了不少實(shí)質(zhì)性的進(jìn)展。
前段時(shí)間，清華大學(xué)傳來(lái)好消息，宣布開(kāi)發(fā)完成了光源技術(shù)，波長(zhǎng)可以從太赫茲波段覆蓋到極紫外光波段。要知道EUV光刻機(jī)的另一個(gè)名字是極紫外光刻機(jī)，極紫外光源是其最核心的技術(shù)之一。
這意味著清華大學(xué)自研的光源技術(shù)可以直接應(yīng)用到EUV光刻機(jī)上，我們對(duì)于EUV光刻機(jī)的研發(fā)幾乎成功了一半。
在舉國(guó)之力研發(fā)光刻技術(shù)的大環(huán)境下，除了清華大學(xué)傳來(lái)的好消息，近日，國(guó)產(chǎn)科技企業(yè)也宣布了一項(xiàng)重大突破。
近日，上海新陽(yáng)半導(dǎo)體材料公司正式宣布，突破了193nm Arf干法高端光刻膠的研發(fā)。
從產(chǎn)業(yè)分類來(lái)看，目前半導(dǎo)體市場(chǎng)上主要使用的光刻膠可分為四類，分別是g線、i線、Krf、Arf四類。其中g(shù)線、i線光刻膠屬于中低端產(chǎn)品，國(guó)內(nèi)工藝已經(jīng)成熟，但Krf、Arf這兩種高端光刻膠卻一直被日美的企業(yè)所壟斷著。
據(jù)業(yè)內(nèi)人士透露，上海新陽(yáng)在高端光刻膠領(lǐng)域的突破要得益于從ASML購(gòu)買的DUV-1400光刻機(jī)。事實(shí)上，在去年蘇州晶瑞從ASML買到一臺(tái)二手光刻機(jī)后，也已展開(kāi)了對(duì)光刻膠的研發(fā)。
不過(guò)從市場(chǎng)規(guī)模和技術(shù)積累來(lái)看，上海新陽(yáng)被專家們一致認(rèn)為是最有可能率先在高端光刻膠方面實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)的中國(guó)企業(yè)。
從上海新陽(yáng)的光刻膠項(xiàng)目發(fā)展規(guī)劃來(lái)看，Arf光刻膠在明年便可實(shí)現(xiàn)少量銷售，在2023年能大規(guī)模量產(chǎn)，進(jìn)入實(shí)際商用階段。
除了光源、光刻膠技術(shù)的突破之外，國(guó)內(nèi)科技企業(yè)與科研機(jī)構(gòu)在EDA軟件、數(shù)控機(jī)床等多項(xiàng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中的關(guān)鍵領(lǐng)域同樣有不小的成果，經(jīng)歷過(guò)“卡脖子”之痛后，我們的目標(biāo)已經(jīng)不僅僅局限在芯片和光刻設(shè)備上了，而是建立自主技術(shù)生態(tài)，徹底擺脫對(duì)美國(guó)的依賴。
老美在以舉國(guó)之力打壓華為等中企之時(shí)，涉及到的芯片和EUV光刻機(jī)只是引線罷了，其真實(shí)目的是想遏制我國(guó)高科技的發(fā)展。在這樣的情況下，我們要做的就是團(tuán)結(jié)起來(lái)發(fā)起反擊，這場(chǎng)科技博弈仍在繼續(xù)，相信最終的勝者一定會(huì)是我們!
標(biāo)簽： EUV光刻機(jī)
