光刻機(jī)霸主令光刻機(jī)領(lǐng)域都十分頭疼的難題

2020-11-25 16:49:53

近日,尼康公司傳來消息,在疫情的影響下,受核心相機(jī)業(yè)務(wù)出現(xiàn)下滑;因此公司計(jì)劃裁員將近2000人。同樣受到影響的,還有尼康的半導(dǎo)體微顯影業(yè)務(wù)。

據(jù)尼康公布的第二財(cái)季運(yùn)營數(shù)據(jù),該財(cái)季尼康虧損261億日元,折合人民幣16億元。尼康的相機(jī)、半導(dǎo)體設(shè)備兩大支柱性業(yè)務(wù)受損,令人為其擔(dān)憂。

半導(dǎo)體設(shè)備是尼康第二大支柱,占總收入38.8%。在80年代之時(shí),尼康曾是全球第一的光刻機(jī)巨頭,占據(jù)了業(yè)界超50%的市場。

彼時(shí),英特爾、德州儀器、IBM等大客戶,都要到排隊(duì)到尼康拿貨。當(dāng)時(shí),尼康的受歡迎程度不亞于如今的ASML。

而在尼康風(fēng)頭正盛之時(shí),ASML才誕生不久,還是一家名不見經(jīng)傳的小公司。ASML是飛利浦旗下的一家合資小公司,辦公室只是幾間臨時(shí)板房,公司只有30余名員工。

彼時(shí),在尼康的壓制下,就連飛利浦對自家光刻機(jī)業(yè)務(wù)也不看好。在很長時(shí)間里,ASML都處在窮困潦倒的狀態(tài),但ASML卻一步步實(shí)現(xiàn)了對尼康的超越,令世界刮目相看。

ASML的逆襲之路,要從臺積電一個(gè)叫做林本堅(jiān)的工程師說起。當(dāng)時(shí)光刻機(jī)的光源波長卡在了193nm,如何才能讓光源更細(xì),成為了令光刻機(jī)領(lǐng)域都十分頭疼的難題。

當(dāng)時(shí),林本堅(jiān)認(rèn)為可以利用光在水中的折射原理,從而達(dá)到更高精度,這也就是“浸沒式光刻”方案。不過,林本堅(jiān)的這一方案,先后被日本、美國等眾多半導(dǎo)體巨頭拒絕。

最終,還是初生牛犢不怕虎的ASML,決定用“浸沒式光刻”方案闖一闖。這一下,還真讓ASML闖出了門道。相較于尼康的干式微影技術(shù)157nm光刻機(jī),ASML的光刻機(jī)更成熟、縮短光波效果更好,一舉獲得了市場的認(rèn)可。

也就是從這時(shí)開始,尼康在光刻機(jī)領(lǐng)域開始走下坡路,逐漸被ASML反超。

同時(shí),尼康在美國政府的干預(yù)下,被EUV LLC聯(lián)盟排除在外,無法在更先進(jìn)的極紫外光刻機(jī)上實(shí)現(xiàn)反超。專家曾指出,“尼康可能會將技術(shù)轉(zhuǎn)移回日本,從而徹底消滅美國光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)”。因此,美國自然不會養(yǎng)虎為患。

最終,在重重打擊之下,尼康的光刻機(jī)業(yè)務(wù)不敵ASML,已經(jīng)不復(fù)曾經(jīng)的輝煌。尼康,曾經(jīng)日本光刻機(jī)霸主,就這樣隕落,令人唏噓。

而在如今,在疫情的影響之下,尼康更是遭遇了新的危機(jī)。

標(biāo)簽: 光刻機(jī)霸主

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