投影物鏡、工件臺以及光源是光刻機的三大核心子系統(tǒng)，具有至關(guān)重要的作用。2001年，ASML推出的雙工件臺系統(tǒng)，大大提升了光刻機的產(chǎn)能。據(jù)悉，單工件臺生產(chǎn)率為80片/時，而雙工件臺則達到了270片/時。
ASML的這一行動，引起了清華大學機械工程系教授朱煜的關(guān)注。朱煜表示自己當時下意識地說：這就是我想要做的，中國必須掌握這樣的頂尖技術(shù)。
于是，朱煜帶領(lǐng)團隊開始攻克工件臺這一難題。
當時，中國光刻機產(chǎn)業(yè)遠落后于海外，光刻機分辨率停留在0.8-1微米，而海外則已經(jīng)推進至0.1微米。同時，雙工件臺技術(shù)作為一個世界級的難題，被ASML牢牢握在手中，擺在朱煜團隊面前的，是強大的技術(shù)壁壘。
而且在研發(fā)過程中，朱煜團隊也一度因為研發(fā)經(jīng)費不足，進度幾乎停滯。直到加入“02專項”，朱煜才有科研資金得以繼續(xù)研發(fā)。
2012年，為推進產(chǎn)業(yè)化進程，朱煜等人成立華卓有限(此后該名為華卓精科)。經(jīng)過多年的發(fā)展，朱煜團隊的努力終于有了回報，2016年華卓精科研制成功兩套α樣機，并成為光刻機項目群中首個通過02專項驗收的項目。
如今，華卓精科更是已經(jīng)打破了ASML的壟斷，成為全球“唯二”掌握高端光刻機雙工件臺的企業(yè)。在2021年，華卓精科更是將推出可用于浸沒式28nm光刻機的DWSi系統(tǒng)雙工件臺。據(jù)悉，該類雙工件臺一臺便要6000萬元。
目前，上海微電子是華卓精科雙工件臺產(chǎn)品的唯一客戶。2019年受上海微電子采購進度晚于預期的影響，華卓精科該年的雙工件臺業(yè)務并沒有收入。
可以看出，客戶的單一是華卓精科雙工件臺業(yè)務的一大難題。但當前ASML、尼康與佳能這三大光刻機巨頭，都是工件臺自研自產(chǎn)，將這一核心技術(shù)掌握在自己手中，華卓精科沒有機會從中拿到訂單。
為此，近年來，華卓精科的主要營收正向精密運動系統(tǒng)方面轉(zhuǎn)變，以支撐公司的發(fā)展。
而且，業(yè)界對于華卓精科的發(fā)展也十分看好。在今年6月，華卓精科的科創(chuàng)板上市申請獲得受理，有望成為光刻機第一股。
如今，中國芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展腳步較快，尤其是對光刻機的關(guān)注度不斷提升。在這樣的大環(huán)境下，華卓精科也更有望找到新的發(fā)展機遇。
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